VMB分流箱
VMB分流箱：適用于制程氣體的分配和壓力調節,能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點，壓力可被單獨地調控，從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外，設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下，吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
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