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      氣體管路測試之——氦檢

      在上篇文中,我們知道在氣體管路中,為了確保氣體管道系統的品質達到一定的水準和滿足客戶的需求,通常要做五項測試,分別是保壓測試、氦氣檢漏測試、水分測試、氧分測試和顆粒測試,并重點介紹了保壓測試。那么在這篇文中小編再給大家介紹另一項測試——氦氣檢漏測試(氦檢)。
      那么氦檢漏的原理是什么呢?

      眾所周知,在元素周期表中,氦(He)的相對分子質量是除氫(H)以外最小的元素,是最輕的惰性氣體。因為氫氣易燃易爆,顯然不適合用它來做檢測,氦氣屬于惰性氣體,化學性質穩定,分子質量又小,是檢漏的理想氣體,氣體管道的氦氣檢漏(氦檢)利用的就是這一點。在向被測管道中注入氦氣,氦氣是除氫氣以外最輕的氣體,氦氣在自然狀態下會向上垂直擴散,如果管道中存在漏點,氦氣分子小能夠輕易進入那些不被肉眼察覺的孔縫中,由此我們就能夠通過氦檢儀探測出氦氣的百分比,進而判斷出管道系統的泄漏率是否符合國家標準。

      針對我公司半導體行業的客戶,為了滿足半導體應用的要求,我們產品在出廠前在通過保壓測試的基礎上,還會做氦檢測試。我們的氦檢儀器使用的是德國英??礥L1000系列,它通過結合高速氦氣抽吸和高進氣口壓強的最佳真空結構,在室溫條件等因素理想的情況下,其最小可檢漏率可達≤ 5×10-12毫巴·升/秒,并能提供在所有測量范圍中作出極快的漏率響應。


      那么我們的測試人員具體是如何操作的呢?

      儀器接通電源,約2.5分鐘后完成啟動過程后進入待用模式,這時將待測試產品連接至進氣口,用檢漏儀平行設置的附加真空泵對試件抽空,在抽空過程中顯示器上隨時反映進氣口部位的壓強情況,一旦壓強達到15mb,即切換至測量模式,顯示相應的漏率值,顯示的漏率相應于測試部件中氦本底濃度,由于氦檢儀繼續抽空試件,其本底漏率將進一步下降,根據檢漏要求,一旦本底漏率足夠低時,即可開始在試件周圍用帶軟管的氦氣噴槍噴氦,由于存在壓差,如果試件存在漏孔,氦氣即可滲入試件,只要達到一定的壓強條件,通向渦輪分子泵的閥門即打開,此時氦氣將逆著渦輪分子泵的抽氣方向滲入質譜儀,即可被檢測出來。

      以上就是我公司產品出廠前做氦檢測試的全過程,盡管過程繁雜,但是檢測率達100%。我們產品的精度和純度得到保證,這些測試僅僅是一方面,先進的生產設備,標準化的生產流程,嚴格的品質把控等等一系列的因素,才得以讓我們的產品在業界有良好的口碑,我們始終堅持以安全保障為前提,對品質嚴格把控,對產品創新不斷追求,信創產品,值得您的信賴。


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